吉时利 Keithley 2601B-PULSE 10 µs 脉冲发生器/SMU 使用范围：半导体生产测试、半导体器件设计晶体管检定、IDDQ 测试与待机电流测试、多针装置测试

吉时利 Keithley 2601B-PULSE 10 µs 脉冲发生器/SMU 使用范围：半导体生产测试、半导体器件设计晶体管检定、IDDQ 测试与待机电流测试、多针装置测试

浏览人数：392 发表时间：2022-05-04

通道数 1 台脉冲发生器/1 台 SMU 脉冲发生器 V/I 范围 1 μA - 10 A 1 μV - 10 V SMU V/I 范围 100 fA - 10 A 100 nV - 40 V 精度脉冲发生器：0.05% SMU：0.015% 最大速度 1 M 个读数/秒

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产品简介

无需手动脉冲调整即可实现高脉冲保真度

通过 2601B-PULSE 控制回路系统，高达 3μH 的负载变化无需手动调整，从而确保在任何电流水平（最高 10 安培）下输出 10 μs 至 500 μs 脉冲时，脉冲均不会出现过冲和振荡。脉冲上升时间 < 1.7 μs，确保您可以正确检定被测器件或电路。

输出 10 A @ 10 V，脉冲宽度为 10 μs
脉冲上升时间 <1.7μs，可轻松检定
高保真脉冲输出，在任何电流水平下均无需调整

将快速脉冲发生器功能与 SMU 功能集成至一台仪器中

2601B-PULSE 在业界领先的吉时利 2601B SMU 仪器所提供的测量完整性、同步性、速度和准确性基础上新增脉冲发生器功能。

通过 1 MS/s 的数字化功能，实现脉冲发生器 0.05% 的基本测量精度
SMU 100 nA 低电流范围与 100 fA 灵敏度
后面板 BNC 连接实现电缆快速设置

嵌入式脚本和连接提供无与伦比的生产吞吐量

测试脚本处理器 (TSP®) 技术可在 SMU 仪器内嵌入和执行完整测试程序，提供业界最佳性能。TSP-Link® 技术支持扩展多达 32 个 TSP 链路节点，以创建高速、SMU-Per-Pin 并行测试（而不使用主机）。

消除与 PC 之间耗时的总线通信
高级数据处理和流量控制
连接多达 32 个 TSP 链路节点
随着测试要求变化轻松重新配置

应用

ToF/LIDAR 应用的激光二极管 (VCSEL) 生产测试

2601B-PULSE 是激光二极管垂直腔表面发射激光器 (VCSEL) LIV 生产测试的理想解决方案，采用高速高精度 10μs 脉冲发生器和 SMU，可用于 VCSEL、VCSEL 阵列和激光二极管模块的电流脉冲源和电压-电流监测。SMU 提供最经济实惠的 LIV 仪器，系统同步和吞吐量高。

可编程脉冲电流源可达 10 A 电流和 10 µs 脉冲宽度
电压和电流测量分辨率为 100 nV 和 100 fA
内置 TSP® 处理功能可减少 PC和仪器总线通信

如何使用 2601B-PULSE System SourceMeter SMU 仪器生成 10 μs 脉冲当输出低至 10 µs 的脉冲时，新型电流脉冲发生器/SMU 无需耗时的手动计时

故障分析和质量保证

半导体公司和半导体研究人员不断寻找方法，使测试设备不会成为其在半导体领域有所突破的阻碍。半导体故障分析 (FA) 工程师耗时无数，试图了解设备故障的原因及在将来如何预防。

通过 SMU 和脉冲测试简化 FA 过程
数字 I/O 触发外部 IR 摄像机
内置定时器功能，分辨率为 1μs，精度为 ±100 ppm。

使用源测量单元和锁定热成像技术进行故障分析的先进技术

2601B-Pulse Pulsed DC I-V LED Characterization

简化的 LED 脉冲式/直流 I/V 检定

2601B-PULSE 独特的电流脉冲、直流电压和电流功能可实现高速 LED 直流和脉冲 IV 检定及生产测试，具有 0.015％的基本测量精度。对 microLED、LED 或高亮度 LED (HBLED) 执行脉冲测试可最大程度地减少自发热，并减少对测量精度的负面影响，此外，无需担心损坏被测器件。

可编程电流源可达 10 A 电流和 10 µs 脉冲宽度
电压和电流测量分辨率为 100 nV 和 100 fA
1 M 样点/秒数字化器，用于快速采集和测量数据
内置 TSP 处理功能可减少 PC 仪器总线通信

晶圆半导体测试

Keithley 2601B-PULSE 和其他系列 2600B System SourceMeter® SMU 仪器将堆架式仪器的可扩展性和灵活性与基于主机系统的集成和高吞吐量相结合，使用 TSP 和 TSP 链路技术减少制造活动和测试成本。这些仪器通常用于激光二极管、LED、晶体管等晶圆半导体测试。